Lavorazione CNC per semiconduttori: componenti per attrezzature per wafer
Lavorazione CNC per semiconduttori di componenti per camere, chuck per wafer, collettori gas e showerhead a ±0.005 mm, con finitura a Ra 0.2–0.4 µm. Ogni componente viene pulito e confezionato in doppio sacchetto, privo di particelle.
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ISO 9001
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AS9100D
Produzione di componenti per attrezzature per semiconduttori presso DEK
Lavoriamo componenti per le attrezzature che eseguono etching, deposizione, pulizia, movimentazione e ispezione dei wafer, in alluminio 6061 e 7075, acciaio inossidabile 316L, Kovar, Invar, titanio, PEEK e PTFE. La tolleranza standard è ±0.005 mm, con finiture a Ra 0.2–0.4 µm dove richiesto dal disegno.
Un ingegnere esamina ogni disegno prima del preventivo, di norma entro 6 ore. Non c'è quantità minima, i prototipi vengono spediti in 3–5 giorni e i componenti sono puliti e imballati privi di particelle. Consulti la nostra panoramica dei settori per gli altri settori che serviamo.
Modalità di guasto che preveniamo in fase di progettazione
- Distacco di particelle da bave e spigoli vivi sulle superfici a contatto con il wafer
- Degassamento e perdite virtuali da fori ciechi non sfiattati nei componenti per vuoto
- Perdite sulle sedi delle guarnizioni O-ring con graffi radiali o superfici di tenuta ruvide
- Deriva termica e perdita di planarità su chuck, piastre e basi metrologiche
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0.005mm
Tolleranza standard sui metalli
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0.2µm
Ra sulle superfici lucidate
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6h
Tempo medio di preventivazione
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2.300+
Clienti serviti
Componenti che lavoriamo per attrezzature per semiconduttori
Ogni famiglia di componenti ha la propria modalità di guasto: particelle, degassamento, perdite, deriva termica o danneggiamento del wafer. Le lavoriamo tenendo conto di tutte.
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Componenti per camere a vuotoLavorazione di componenti per camere a vuoto: coperchi, liner, piastre di pompaggio e flange per viewport con sedi O-ring a tenuta stagna. -
Chuck per wafer e piedistalliLavorazione di chuck per wafer: corpi di chuck a vuoto ed elettrostatici, piastre riscaldanti e per perni di sollevamento, rettificate e lappate piane. -
End effectorLame, palette e dita a presa sui bordi con sezioni sottili mantenute piane e prive di bave, così da non graffiare mai il wafer. -
Collettori gas e blocchi per pannelliBlocchi in 316L con gallerie intersecanti, porte a tenuta frontale compatibili VCR e finiture interne idonee all'elettrolucidatura. -
Showerhead e diffusoriPiastre in alluminio o acciaio inossidabile con da centinaia a migliaia di fori da 0.3–1.0 mm praticati con posizione a ±0.02 mm. -
Attrezzature e componenti metrologiciBasi in Kovar e Invar dove la dilatazione termica deve restare prossima allo zero, oltre ad attrezzature in alluminio per stazioni di misura a sonde. -
Raccordi a purezza ultra elevataSedi a tenuta frontale, adattatori e codoli per saldatura in 316L con finiture interne a Ra 0.25 µm o migliori per l'erogazione dei gas.
Capacità di lavorazione CNC per semiconduttori
Pulizia, tolleranze, documentazione e supporto per l'intero ciclo di vita dei componenti per semiconduttori, pianificati dalla nota sul disegno fino al sacchetto imballato.
Materiali per vuoto, plasma e camera bianca
Metalli e polimeri sono il nostro ambito principale nella lavorazione per semiconduttori; scelga in base all'ambiente: vuoto, plasma, chimica umida o stabilità termica.
| Materiale | Dove viene utilizzato | Note di lavorazione |
|---|---|---|
| Alluminio 6061 | Coperchi di camera, corpi di bloccaggio, end effector | Lavorazione rapida; anodizzazione dura Tipo III per il plasma |
| Alluminio 7075 | Bracci robotici, staffe portanti | Maggiore resistenza; attenzione alla finitura delle pareti sottili |
| acciaio inossidabile 316L | Collettori del gas, raccordi UHP, componenti di camera | Basso tenore di zolfo per l'elettrolucidatura; passivare dopo |
| Kovar | Guarnizioni vetro-metallo, passanti, sensori | Appiccicoso; utensili affilati, fissaggio rigido, ±0.005 mm |
| Invar | Telai metrologici, supporti ottici, tavole portapezzo | Bassa dilatazione; sgrossatura e finitura a stadi |
| Titanio | Componenti per banchi umidi, parti di camera per gas corrosivi | Bassa conduttività; taglio lento e positivo |
| PEEK | Pattini end effector, portafette, isolatori | Basso degassamento; il materiale ricotto resta piatto |
| PTFE | Raccordi per processo umido, guarnizioni, distribuzione chimica | Scorre sotto carico; ±0.05 mm tipico |
| Ultem (PEI) | Zoccoli di test, parti di handler, isolatori | Stabile fino a 170 °C; ±0.01 mm su dettagli piccoli |
| PPSU | Parti di manipolazione esposte a vapore e sostanze chimiche | Tenace, autoclavabile, si lavora come il PC |
Perché scegliere DEK per la lavorazione CNC per semiconduttori
Il lavoro per semiconduttori dipende da dettagli che uno strumento di preventivazione automatico trascura, perciò un ingegnere legge ogni disegno e preventiva il ciclo reale.
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Lavorazione dal 2002
Lavorazione di precisione dal 2002, con oltre 2.300 clienti nei settori apparecchiature, elettronica e strumentazione che si affidano ai nostri pezzi.
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Qualità certificata TÜV
Le certificazioni ISO 9001:2015 e AS9100D rilasciate da TÜV coprono il sistema qualità alla base di ogni ordine per semiconduttori che spediamo.
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Cicli verificati da ingegneri
Decidiamo se un foro da 0.4 µm richiede levigatura o lucidatura, se il Kovar si muoverà e se l'anodizzazione necessita di mascheratura.
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Team QC di otto ispettori
Otto ispettori, ciascuno con oltre 5 anni di esperienza negli standard di esportazione europei e americani, approvano ogni spedizione.
Il nostro processo di ordinazione
Materiali e finiture per semiconduttori
Abbini il metallo o il polimero giusto alla finitura richiesta dalla Sua camera, linea gas o parte di manipolazione, il tutto lavorato internamente.
Finiture superficiali
Plastiche tecniche
Ha bisogno di un'altra lega o finitura? Chieda ai nostri ingegneri di valutarla.
Tutti i materialiFAQ sulla lavorazione per semiconduttori
Domande frequenti da acquirenti e ingegneri di apparecchiature per semiconduttori.
Richiedi un preventivo per parti per semiconduttori
Invii i Suoi disegni con note su materiale, finitura, pulizia e imballaggio e la quantità per fase. Un ingegnere esamina ogni file prima di quotare.
- Accettati PDF, STEP, IGES o SLDPRT
- Preventivo entro 6 ore per parti standard
- Fino a 3 giorni per assemblaggi complessi di camere
- Senza quantità minima
- Scriva a [email protected] o utilizzi il modulo
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