Mecanizado CNC para herramientas de obleas en el sector de semiconductores
Mecanizado CNC de piezas de cámara, portasustratos, colectores de gas y difusores para semiconductores con tolerancia de ±0.005 mm y acabado Ra 0.2–0.4 µm. Cada pieza se limpia y se embolsa dos veces libre de partículas.
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ISO 9001
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AS9100D
Fabricación de piezas para equipos de semiconductores en DEK
Mecanizamos piezas para las herramientas que graban, depositan, limpian, manipulan e inspeccionan obleas, en aluminio 6061 y 7075, acero inoxidable 316L, Kovar, Invar, titanio, PEEK y PTFE. La tolerancia estándar es de ±0.005 mm, con acabados de Ra 0.2–0.4 µm cuando el plano lo exige.
Un ingeniero revisa cada plano antes de presupuestar, normalmente en un plazo de 6 horas. No hay pedido mínimo, los prototipos se envían en 3–5 días y las piezas se limpian y embalan libres de partículas. Consulte nuestra visión general de sectores para conocer los demás sectores a los que suministramos.
Modos de fallo que evitamos por diseño
- Partículas desprendidas de rebabas y aristas vivas en las superficies de contacto con la oblea
- Desgasificación y fugas virtuales por taladros ciegos sin venteo en componentes de vacío
- Fugas en ranuras de junta tórica con arañazos radiales o caras de sellado rugosas
- Deriva térmica y pérdida de planitud en portasustratos, placas y bases de metrología
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0.005mm
Tolerancia estándar en metal
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0.2µm
Ra en caras pulidas
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6h
Plazo habitual de presupuesto
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2.300+
Clientes atendidos
Componentes que mecanizamos para equipos de semiconductores
Cada familia de piezas tiene su propio modo de fallo: partículas, desgasificación, fugas, deriva térmica o daño a la oblea. Los tenemos todos en cuenta al mecanizar.
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Componentes de cámara de vacíoMecanizado de componentes de cámara de vacío: tapas, revestimientos, placas de bombeo y bridas de visor con ranuras de junta tórica estancas. -
Portasustratos y pedestalesMecanizado de portasustratos: cuerpos de sujeción por vacío y electrostática, placas calefactoras y de pasadores de elevación, rectificadas y lapidadas para garantizar la planitud. -
Efectores finalesPalas, álabes y dedos de agarre por borde con secciones finas mantenidas planas y sin rebabas para que nunca arañen una oblea. -
Colectores de gas y bloques de panelBloques de 316L con galerías cruzadas, puertos de sellado frontal compatibles con VCR y acabados internos aptos para electropulido. -
Difusores y distribuidoresPlacas de aluminio o acero inoxidable con cientos o miles de taladros de 0.3–1.0 mm perforados con una posición de ±0.02 mm. -
Utillajes y equipos de metrologíaBases de Kovar e Invar donde la dilatación térmica debe mantenerse cerca de cero, además de utillajes de aluminio para estaciones de sondas. -
Racores de pureza ultraaltaAlojamientos de sellado frontal, adaptadores y manguitos de soldadura en 316L con acabados internos de Ra 0.25 µm o mejores para el suministro de gas.
Capacidades de mecanizado CNC para semiconductores
Limpieza, tolerancias, documentación y soporte durante todo el ciclo de vida de las piezas para semiconductores, planificados desde la nota del plano hasta la bolsa embalada.
Materiales para uso en vacío, plasma y sala limpia
Los metales y polímeros son nuestro ámbito principal de mecanizado para semiconductores; elija según el entorno: vacío, plasma, química húmeda o estabilidad térmica.
| Material | Dónde se utiliza | Notas de mecanizado |
|---|---|---|
| Aluminio 6061 | Tapas de cámara, cuerpos de chuck, efectores finales | Mecaniza rápido; anodizado duro Tipo III para plasma |
| Aluminio 7075 | Brazos robóticos, soportes portantes | Mayor resistencia; atención al acabado de paredes delgadas |
| acero inoxidable 316L | Colectores de gas, racores UHP, herrajes de cámara | Bajo en azufre para electropulido; pasivar después |
| Kovar | Sellos vidrio-metal, pasamuros, sensores | Pegajoso; herramientas afiladas, utillaje rígido, ±0.005 mm |
| Invar | Bastidores de metrología, monturas ópticas, etapas | Baja expansión; desbaste y acabado por etapas |
| Titanio | Herrajes de banco húmedo, piezas de cámara para gases corrosivos | Baja conductividad; corte lento y positivo |
| PEEK | Almohadillas de efector final, portadores de obleas, aislantes | Bajo desgasificación; el material recocido se mantiene plano |
| PTFE | Racores de proceso húmedo, sellos, suministro químico | Fluencia bajo carga; ±0.05 mm típico |
| Ultem (PEI) | Zócalos de test, piezas de handler, aislantes | Estable hasta 170 °C; ±0.01 mm en características pequeñas |
| PPSU | Piezas de manipulación expuestas a vapor y productos químicos | Resistente, autoclavable, se mecaniza como PC |
Por qué DEK para mecanizado CNC de semiconductores
El trabajo para semiconductores depende de detalles que una herramienta de presupuestación automatizada pasa por alto, por lo que un ingeniero revisa cada plano y valora la ruta real.
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Mecanizado desde 2002
Mecanizado de precisión desde 2002, con más de 2,300 clientes en equipos, electrónica e instrumentación que confían en nuestras piezas.
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Calidad certificada por TÜV
Los certificados ISO 9001:2015 y AS9100D emitidos por TÜV avalan el sistema de calidad que respalda cada pedido para semiconductores que enviamos.
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Rutas revisadas por ingenieros
Decidimos si un taladro de 0.4 µm requiere bruñido o pulido, si el Kovar se deformará y si el anodizado necesita enmascarado.
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Equipo de control de calidad con ocho inspectores
Ocho inspectores, cada uno con más de 5 años de experiencia en estándares de exportación europeos y americanos, aprueban cada envío.
Nuestro proceso de pedido
Materiales y acabados para semiconductores
Combine el metal o polímero adecuado con el acabado que necesitan su cámara, línea de gas o pieza de manipulación, todo mecanizado internamente.
Acabados superficiales
Plásticos técnicos
¿Necesita otra aleación o acabado? Solicite a nuestros ingenieros que lo revisen.
Todos los materialesPreguntas frecuentes sobre mecanizado para semiconductores
Preguntas habituales de compradores e ingenieros de equipos para semiconductores.
Solicitar presupuesto para piezas de semiconductores
Envíe sus planos con notas de material, acabado, limpieza y embalaje, y la cantidad por fase. Un ingeniero revisa cada archivo antes de cotizar.
- Se aceptan PDF, STEP, IGES o SLDPRT
- Cotización en 6 horas para piezas estándar
- Hasta 3 días para conjuntos de cámara complejos
- Sin pedido mínimo
- Escriba a [email protected] o utilice el formulario
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