What tolerances can you hold on semiconductor CNC machining?

Standard tolerance is ±0.005 mm on metal parts and ±0.01 mm on plastics. Ground and lapped chuck faces reach 0.01–0.02 mm flatness, and showerhead hole patterns are positioned to ±0.02 mm. Tighter limits on specific features are quoted after engineering review.

Do you clean and package parts for cleanroom use?

Yes. Parts are ultrasonically cleaned in DI water, dried with filtered air, handled with gloves and double-bagged in clean polyethylene with lot labels. No silicone lubricants or packaging materials are used. Final cleanroom-grade cleaning to a customer specification can be arranged with the order.

Can you machine Kovar and Invar for semiconductor fixtures?

Yes. Both alloys are in regular production at DEK, machined to ±0.005 mm with staged roughing and finishing cycles so low-expansion fixtures and feedthrough housings stay dimensionally stable in service.

Do you make ultra high purity fittings and gas manifolds?

Yes. We machine 316L face-seal fittings, adapters and multi-port manifold blocks, then electropolish and passivate the gas-wetted surfaces on the parts we machine. Finishes of Ra 0.25 µm or better are available on request, with material certificates traced to the heat lot.

Обработка на станках с ЧПУ деталей для полупроводникового оборудования: инструменты для работы с пластинами

Обработка на станках с ЧПУ деталей полупроводникового оборудования — деталей камер, держателей пластин, газовых коллекторов и газораспределительных пластин — с допуском ±0.005 mm и шероховатостью до Ra 0.2–0.4 µm. Каждая деталь очищается и упаковывается в два пакета без частиц.

Запросить расчёт

Стандарт ±0.005 mm
без минимальной партии
Прототипы за 3–5 дней
Отчёты FAI по CMM

Semiconductor industry: inside a semiconductor cleanroom

ISO 9001
AS9100D

Производство деталей для полупроводникового оборудования в DEK

Мы обрабатываем детали для установок, которые травят, осаждают, очищают, транспортируют и инспектируют пластины, из алюминия 6061 и 7075, нержавеющей стали 316L, Kovar, Invar, титана, PEEK и PTFE. Стандартный допуск — ±0.005 mm, шероховатость до Ra 0.2–0.4 µm там, где это требуется по чертежу.

Инженер проверяет каждый чертёж перед расчётом стоимости, обычно в течение 6 часов. Минимальной партии нет, прототипы отгружаются за 3–5 дней, детали очищаются и упаковываются без частиц. Смотрите наш обзор отраслей для других отраслей, которые мы обслуживаем.

Виды отказов, которые мы исключаем на этапе проектирования

Отделение частиц из-за заусенцев и острых кромок на поверхностях, контактирующих с пластиной
Газовыделение и виртуальные течи из глухих отверстий без вентиляции в вакуумной арматуре
Течи в канавках под O-ring с радиальными царапинами или шероховатыми уплотнительными поверхностями
Термический дрейф и потеря плоскостности держателей, плит и базовых элементов метрологического оборудования

Finished stainless steel vacuum chamber for semiconductor equipment on bench

0.005mm
Стандартный допуск для металла
0.2µm
Ra на полированных поверхностях
6ч
Типичный срок подготовки расчёта
2 300+
Обслуженных клиентов

Компоненты, которые мы обрабатываем для полупроводникового оборудования

У каждого семейства деталей свой вид отказа: частицы, газовыделение, течи, термический дрейф или повреждение пластины. Мы обрабатываем с учётом всех этих факторов.

Компоненты вакуумных камер

Обработка компонентов вакуумных камер: крышек, вкладышей, откачных плит и фланцев смотровых окон с герметичными канавками под O-ring.

6061, 316L Ra 0.4–0.8 µm Вентиляционные отверстия
Держатели пластин и пьедесталы

Обработка держателей пластин: корпусов вакуумных и электростатических захватов, плит нагревателей и подъёмных штифтов, шлифованных и притёртых до плоскостности.

0.01–0.02 mm Штифты ±0.02 mm Притёрто
Эффекторы

Лопатки, лопасти и захваты с тонкими сечениями, сохраняющими плоскостность и без заусенцев, чтобы никогда не поцарапать пластину.

6061 PEEK Ultem
Газовые коллекторы и панельные блоки

Блоки из 316L с пересекающимися каналами, портами с торцевым уплотнением, совместимыми с VCR, и внутренней отделкой, пригодной для электрополировки.

316L Торцевое уплотнение Электрополировка
Газораспределительные пластины и диффузоры

Алюминиевые или нержавеющие пластины с сотнями и тысячами отверстий диаметром 0.3–1.0 mm, просверленных с точностью позиционирования ±0.02 mm.

0.3–1.0 mm ±0.02 mm Микросверление
Оснастка и метрологическое оборудование

Основания из Kovar и Invar, где тепловое расширение должно оставаться близким к нулю, а также алюминиевая оснастка для зондовых станций.

Kovar Invar Алюминий
Фитинги сверхвысокой чистоты

Уплотнительные узлы с торцевым уплотнением, переходники и приварные патрубки из 316L с внутренней отделкой до Ra 0.25 µm или лучше для подачи газа.

316L Ra 0.25 µm Приварные патрубки

Возможности обработки на станках с ЧПУ для полупроводниковой отрасли

Чистота, допуски, документация и поддержка на протяжении жизненного цикла полупроводниковых деталей — от примечания на чертеже до упакованного пакета.

Отделка
Упаковка
Допуски
Качество и документация
Жизненный цикл

Требования к чистоте и поверхности

Полупроводниковые детали оценивают по тому, что они выделяют, не меньше, чем по их размерам. Стандартная шероховатость после обработки — Ra 0.8–1.6 µm; уплотнительные поверхности и каналы, контактирующие с газом, достигают Ra 0.2–0.4 µm.
- Коллекторы из 316L электрополированные, затем пассивированные
- Тип III твёрдое анодирование толщиной 25–50 µm, резьба и базы замаскированы
- Химическое конверсионное покрытие для токопроводящей алюминиевой оснастки
- Кромки притуплены на 0.1–0.3 mm, чтобы ничего не выделяло частиц
Смотреть отделку
Очистка и упаковка без частиц

Финишная обработка выполняется только на деталях, которые обрабатывает DEK, после чего их очищают и упаковывают для работы в чистых помещениях.
- Ультразвуковая очистка в деионизированной воде, сушка фильтрованным воздухом
- Обращение в перчатках, двойная упаковка в чистый полиэтилен
- Маркировка с номером детали и партии
- Без силиконовых смазок, разделительных составов и упаковочных плёнок
Запросить расчёт

Допуски, плоскостность и контроль

Контроль проходит в четыре этапа: IQC со спектрометром, IPQC, отчёт CMM по первой детали и OQC. Тонкие пластины измеряются без зажима для оценки плоскостности в свободном состоянии.

Прецизионная механообработка

Параметр	Типовая точность
Линейные размеры, металлы	±0.005 mm, точнее по запросу
Линейные размеры, пластики	±0.01 mm
Плоскостность, патронные и уплотнительные поверхности	0.01–0.02 mm
Параллельность, притирочные плиты	0.01 mm
Позиция отверстий, газовые распределители	±0.02 mm
Малые отверстия	от 0.3 mm, глубина до 10× диаметра
Шероховатость поверхности	Ra 0.8–1.6 µm; 0.2–0.4 µm после полировки

Качество и документация

Наша система качества сертифицирована по ISO 9001:2015 и AS9100D компанией TÜV. Каждый заказ может сопровождаться полным комплектом документов.
- Сертификат на материал с прослеживаемостью по плавке и отчёт спектрометра
- Отчёт CMM по первой детали и результаты измерения шероховатости
- Толщина покрытия, если оно нанесено
- Лазерная маркировка номера детали, ревизии и партии по запросу
Система качества
От прототипа до поддержки серийного производства

Программы оборудования переходят от прототипов к сотням изделий на поколение инструмента, а затем к запчастям на срок службы 10–15 лет.
- Прототипы за 3–5 дней по файлам STEP
- 5-осевая обработка выдерживает межбазовое расстояние в пределах ±0.01 mm
- Партии от 10 до 10 000 штук с зафиксированными планами контроля
- Запчасти повторно заказываются по той же ревизии, записи хранятся в архиве
Читать руководство

Материалы для вакуума, плазмы и чистых помещений

Металлы и полимеры — наш основной профиль механообработки для полупроводников; выбирайте по среде: вакуум, плазма, мокрая химия или термостабильность.

Материал	Где применяется	Особенности обработки
6061 алюминий	Крышки камер, корпуса патронов, захваты	Быстро обрабатывается; твёрдое анодирование Type III для плазмы
7075 алюминий	Роботизированные руки, несущие кронштейны	Повышенная прочность; следить за обработкой тонких стенок
нержавеющей стали 316L	Газовые коллекторы, фитинги UHP, крепёж камер	Низкосернистая сталь для электрополировки; пассивация после обработки
Kovar	Стеклометаллические спаи, вводы, датчики	Вязкий; острая оснастка, жёсткое закрепление, ±0.005 mm
Invar	Метрологические рамы, оптические крепления, столики	Низкое расширение; поэтапное черновое и чистовое фрезерование
Титан	Оснастка мокрых скамей, детали камер с агрессивными газами	Низкая теплопроводность; медленное резание с положительным передним углом
PEEK	Накладки захватов, носители пластин, изоляторы	Низкое газовыделение; отожжённая заготовка сохраняет плоскостность
PTFE	Фитинги мокрых процессов, уплотнения, подача химикатов	Ползучесть под нагрузкой; типично ±0.05 mm
Ultem (PEI)	Тестовые разъёмы, детали манипуляторов, изоляторы	Стабилен до 170 °C; ±0.01 mm на малых элементах
PPSU	Детали манипуляторов, контактирующие с паром и химикатами	Прочный, выдерживает автоклавирование, обрабатывается как PC

CNC end mill cutting pockets in an aluminum plate

Почему DEK для обработки на станках с ЧПУ для полупроводников

Работа для полупроводников зависит от деталей, которые упускает автоматизированный инструмент расчёта, поэтому каждый чертёж изучает инженер и оценивает реальный маршрут обработки.

Механообработка с 2002 года

Прецизионная механообработка с 2002 года; более 2 300 клиентов в сфере оборудования, электроники и приборостроения доверяют наши детали.
Качество, сертифицированное TÜV

Сертификаты ISO 9001:2015 и AS9100D, выданные TÜV, охватывают систему качества, стоящую за каждым отгружаемым заказом для полупроводников.
Маршруты, проверенные инженером

Мы решаем, нужно ли для отверстия 0.4 µm хонингование или полировка, будет ли деформироваться Kovar и требуется ли маскирование при анодировании.
Команда контроля качества из восьми инспекторов

Каждую партию перед отправкой утверждают восемь инспекторов, каждый из которых имеет более 5 лет опыта работы по европейским и американским экспортным стандартам.

Наш процесс заказа

1
Отправьте запрос

Отправьте запрос с 2D/3D-чертежами и требованиями по электронной почте или через форму.
2
Рассмотрение и расчёт

Наши инженеры рассматривают каждый чертёж и в течение 6 часов предоставляют точный расчёт.
3
Подтверждение заказа

Подтвердите расчёт, детали и график поставки, затем подпишите договор.
4
Производство

Мы планируем производственный процесс, программируем детали и начинаем механообработку.
5
Контроль качества и отгрузка

Межоперационный и финальный контроль, затем детали упаковываются, маркируются и отгружаются.

Материалы и покрытия для полупроводников

Подберите подходящий металл или полимер с покрытием, необходимым для вашей камеры, газовой линии или детали манипулятора — всё обрабатывается на нашем производстве.

Металлы

Финишная обработка поверхности

Инженерные пластики

Нужен другой сплав или покрытие? Попросите наших инженеров рассмотреть его.

Все материалы

Вопросы и ответы по механообработке для полупроводников

Частые вопросы от закупщиков и инженеров полупроводникового оборудования.

Какие допуски вы выдерживаете при обработке на станках с ЧПУ для полупроводников?

Стандартный допуск составляет ±0.005 mm для металлических деталей и ±0.01 mm для пластиков. Шлифованные и притирочные поверхности патронов достигают плоскостности 0,01–0,02 мм, а отверстия газовых распределителей позиционируются с точностью ±0.02 mm. Более жёсткие допуски на отдельные элементы рассчитываются после инженерного анализа.

Вы очищаете и упаковываете детали для использования в чистых помещениях?

Да. Детали проходят ультразвуковую очистку в деионизированной воде, сушатся фильтрованным воздухом, обрабатываются в перчатках и упаковываются в двойные пакеты из чистого полиэтилена с маркировкой партии. Силиконовые смазки и упаковочные материалы не используются. Финальная очистка уровня чистого помещения по спецификации заказчика может быть организована вместе с заказом.

Вы обрабатываете Kovar и Invar для полупроводниковых оснасток?

Да. Оба сплава регулярно производятся в DEK, обрабатываются до ±0.005 mm с поэтапными циклами черновой и чистовой обработки, чтобы оснастки с низким расширением и корпуса вводов сохраняли размерную стабильность в эксплуатации.

Вы изготавливаете фитинги и газовые коллекторы сверхвысокой чистоты?

Да. Мы обрабатываем фитинги с торцевым уплотнением 316L, переходники и многопортовые коллекторные блоки, затем электрополируем и пассивируем поверхности, контактирующие с газом, на деталях нашего производства. По запросу доступна финишная обработка поверхности Ra 0.25 µm или лучше, с сертификатами материалов с прослеживаемостью до партии плавки.

Запросить расчёт на полупроводниковые детали

Отправьте чертежи с указанием материала, покрытия, требований к чистоте и упаковке, а также количества по этапам. Инженер рассматривает каждый файл перед расчётом.

Принимаются PDF, STEP, IGES или SLDPRT
Расчёт в течение 6 часов для стандартных деталей
До 3 дней для сложных камерных сборок
Без минимальной партии
Напишите на [email protected] или используйте форму

Запросить расчёт для аэрокосмической отрасли

Полное имя *Компания *Эл. почта *ТелефонПредпочтение по материалуКоличествоДетали проектаЗагрузить чертежи

Нажмите, чтобы загрузить чертежи (PDF, STEP, IGES, DWG, DXF)

Максимум 25 МБ на файл

Отправить запрос на расчёт

Готовы масштабировать проект?

Начните со стабильного процесса и контролируемого качества. Давайте обсудим ваш проект.

Запросить расчёт

Machined aluminum engine block with threaded holes and smooth finish

Обработка на станках с ЧПУ деталей для полупроводникового оборудования: инструменты для работы с пластинами

Производство деталей для полупроводникового оборудования в DEK

Виды отказов, которые мы исключаем на этапе проектирования

Компоненты, которые мы обрабатываем для полупроводникового оборудования

Возможности обработки на станках с ЧПУ для полупроводниковой отрасли

Требования к чистоте и поверхности

Очистка и упаковка без частиц

Допуски, плоскостность и контроль

Качество и документация

От прототипа до поддержки серийного производства

Материалы для вакуума, плазмы и чистых помещений

Почему DEK для обработки на станках с ЧПУ для полупроводников

Механообработка с 2002 года

Качество, сертифицированное TÜV

Маршруты, проверенные инженером

Команда контроля качества из восьми инспекторов

Наш процесс заказа

Отправьте запрос

Рассмотрение и расчёт

Подтверждение заказа

Производство

Контроль качества и отгрузка

Материалы и покрытия для полупроводников

Металлы

Алюминий 6061

Алюминий 7075

Нержавеющая сталь 316L

Kovar

Invar

Титан

Финишная обработка поверхности

Электрополировка

Твёрдое анодирование

Химическое оксидирование

Инженерные пластики

PEEK

PTFE

Ultem (PEI)

PPSU

Вопросы и ответы по механообработке для полупроводников

Запросить расчёт на полупроводниковые детали

Готовы масштабировать проект?